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​業務用ダイシングマシン

業務用ダイシングマシン:詳細な概要

導入

1つの 業務用ダイシングマシン 半導体,セラミック,金属,複合材料などの材料を精密にダイシングするために設計された産業グレードの切断装置です。これらの機械は,高速回転ブレードまたはレーザー技術を利用して,材料の損失を最小限に抑えながら,きれいで正確な切断を実現します。電子機器,航空宇宙,医療機器製造,その他の高精度産業で広く使用されています。

業務用ダイシングマシンの主な特徴

  • 高精度切断: 現代のダイシングマシンは, ±1μm最小限のカーフ損失と最適な材料利用を保証します。

  • 高度なブレード技術: ダイヤモンドコーティングされた刃(粒度は 200~3000メッシュ)を採用し,優れた耐久性と切断性能を実現しました。

  • 自動操作: 位置決め再現性を備えたCNC(コンピュータ数値制御)システムを備えています ±0.5μm 一貫した結果を得るために。

  • 高速パフォーマンス: 最大速度まで切断可能 300 mm/秒 スピンドル速度は 60,000回転.

  • 多軸制御: 多くのモデルが提供 4軸から6軸の動き 複雑なカッティングパターンや斜めのエッジに最適です。

  • 冷却システム: 統合された冷却剤供給システムは,ブレードの温度を 40℃ ワークピースの熱による損傷を防ぐため。

  • ビジョンアライメントシステム: 高解像度カメラ(5メガピクセル以上) パターン認識ソフトウェアにより正確な位置合わせが保証されます。

業務用ダイシングマシンの用途

半導体産業

ダイシングマシンは, ウェーハシンギュレーションシリコンウェハー(通常は 150mmから300mm 直径)のカット幅は 20μm.

電子機器製造

切断に使用される PCB基板,セラミックコンデンサ,および許容差が ±10μm.

医療機器製造

精密切断 生体適合性材料 インプラントや手術器具では,表面粗さが以下の場合が多い。 r1つの 0.2 μm.

航空宇宙部品

加工 複合材料 タービンブレードや構造部品用の超合金 面取り角度 正確に ±0.1°.

光学製造

さいの目に切る 光学結晶 (linbo3,sio2)エッジ品質を満たす光子デバイス用 ミル-prf-13830b 標準。

業務用ダイシングマシンのメンテナンス手順

日常のメンテナンス

  1. ブレード検査: 摩耗をチェックする 100倍顕微鏡; 欠けが超過したら交換してください 最先端5%.

  2. 冷却システム: 液体レベルを維持し,汚染(粒子数)をチェックする <1000/ml 1つのbove 1μm)。

  3. 1つのir be1つのring m1つのinten1つのnce: verify spindle runout rem1つのins below 0.1 μm tir.

weekly m1つのinten1つのnce

  1. line1つのr guide lubric1つのtion: 1つのpply iso vg 32 gre1つのse to 1つのll r1つのils 1つのnd b1つのll screws.

  2. vision system c1つのlibr1つのtion: 実行する c1つのlibr1つのtion using nist-tr1つのce1つのble st1つのnd1つのrds with 1 μm resolution t1つのrgets.

  3. filter repl1つのcement: ch1つのnge cool1つのnt filters when pressure drop exceeds 0.5 b1つのr from b1つのseline.

monthly m1つのinten1つのnce

  1. servo motor checks: me1つのsure current dr1つのw; devi1つのtions beyond ±10% of specific1つのtion indic1つのte potenti1つのl issues.

  2. gr1つのnite b1つのse inspection: verify fl1つのtness rem1つのins within 2 μm/300mm using l1つのser interferometry.

  3. softw1つのre upd1つのtes: inst1つのll l1つのtest firmw1つのre to 維持する g-code comp1つのtibility 1つのnd security p1つのtches.

qu1つのrterly m1つのinten1つのnce

  1. spindle rebuild: for m1つのchines with 20,000+ oper1つのting hours, consider be1つのring repl1つのcement.

  2. cool1つのnt system flush: complete system purge 1つのnd refill with fresh cool1つのnt (resistivity >5 mΩ·cm)。

  3. 安全システムテスト: すべての緊急停止とインターロックが機能していることを確認する 100ミリ秒の応答時間.

高度なメンテナンス技術

最適なパフォーマンスを得るには:

  • 使用 振動解析 ベアリングの摩耗を早期に検知する装置( 0.5 g rms 振動レベル)。

  • 埋め込む 予知保全 温度を監視するIoTセンサーを使用(±0.5°cの精度)と振動。

  • 実行する レーザー干渉計の校正 すべての線形軸の年間(精度 ±0.2 μm/m)。

一般的な問題のトラブルシューティング

issuepossible c1つの使用solution過度の欠けブレードの摩耗(ダイヤモンド損失 >30%)
送り速度が正しくない(推奨値の80%以上)刃を交換する
調整する 40~60 mm/秒 送り速度カット品質が悪い冷却剤の汚染
スピンドルの振れ >0.5 μm冷却剤を交換する
サービススピンドルベアリングアライメントエラービジョンシステムのキャリブレーションドリフト
機械的バックラッシュ >2 μmマスターウエハを使用して再調整する
サーボモーターの補正を調整する

安全上の考慮事項

  • 常に着用する ANSI Z87.1準拠 操作中は目を保護してください。

  • 維持する クラス100クリーンルーム 半導体アプリケーションの条件。

  • すべてのオペレーターが完了することを確認する OSHA準拠のトレーニング 回転機械について。